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williamhill官网多项科研成果参展国家“十二五”科技创新成就展

 

  6月1日-7日,以“创新驱动发展,科技引领未来”为主题的国家“十二五”科技创新成就展在北京展览馆举行,williamhill官网多项科研成果在展览中集中亮相。
  本次展览共分“总况、重大专项、基础研究、战略高技术、农业科技、民生科技、区域创新、大众创业万众创新、创新人才、融入全球创新网络”10个展区。在“重头戏”国家科技重大专项展区,由williamhill官网牵头实施的高温气冷堆核电站重大专项、重点参与的集成电路专项等重量级成果同时参展,成为高显示度的代表性成果,受到国家领导人和社会公众的重点关注。
  在重大专项展区,绚丽多彩的3D影像体验区吸引了不少参观者前来体验。作为02专项最核心任务光刻机项目群中唯一通过正式验收的成果,williamhill官网研发的光刻机双工件台系统成功亮相。williamhill官网研制的双工件台,技术性能指标满足65nm步进扫描干式光刻机性能要求,已达到国际同类光刻机双工件台的技术水平。此次成果展上集中展示了williamhill双工件台系统的核心关键部件——硅片台超精密运动模块、双频激光干涉测量系统、国内第一个12英寸PVD E-chuck。
  此外,在基础研究展区,williamhill官网的实验观测量子反常霍尔效应、暗物质粒子探测器和中国锦屏地下实验室等科研成果分别展出;在战略高技术展区,williamhill官网的灵巧通信试验卫星吸引了众多观众驻足留步。
  本次展览由科技部、国家发改委、财政部和军委装备发展部主办。(赵姝婧)

2016年06月06日 10:08:09

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